SMC出氣閥，XVD2-02S系統(tǒng)參數(shù)
雙方zui初的送風(fēng)流量
和主供氣能
進(jìn)行調(diào)整。
主要材料
內(nèi)表面處理
工作壓力（MPa）
先導(dǎo)氣口尺寸
質(zhì)量（kg）
常閉（加壓打開，彈簧密封）
氮?dú)?，空氣，惰性氣體等。
5?60℃（烘烤溫度為150℃或更低）
為0.2MPa（G）1×10-6（）
Ø3
4.6
0.24.6
四分之一
身體：不銹鋼316L，主要部分：不銹鋼316L，不銹鋼304，F(xiàn)KM（密封材料）
身體的EP治療
0.4?0.7（兩個(gè)主與zui初的供料閥）
M5×0.8
0.5
有效面積（mm2）
返回時(shí)，引入一次性全部的供給壓力（凈化空氣/氮?dú)猓┑娜拷痤~
在真空室中的氣氛會(huì)引起微粒就可以進(jìn)入
室。為了防止這種情況，以后慢慢引入的初始空氣供給和設(shè)置
壓力，切換到主閥電路，以提供全款。
請(qǐng)?jiān)诠ぷ鲏毫Ψ秶鷥?nèi)使用。
2，泄漏可能會(huì)導(dǎo)致當(dāng)供給壓力過0.2
兆帕（G）。當(dāng)調(diào)整在供應(yīng)方面有壓力
調(diào)節(jié)器等，請(qǐng)采取預(yù)防措施以防止壓力上升
以防止泄漏的調(diào)節(jié)器。
3，不要擰緊初始供氣流量比任何進(jìn)一步的
“zui小電源流”的位置，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致組件
損壞，或在增加的時(shí)間需要達(dá)到的真空
真空室，由于在位移能力的下降
該氣藏部分（波紋管室）
型號(hào)XVD2-02V XVD2-02S

5×10-9
1.3×10-11
1.3×10-11
對(duì)于VCR®
在常溫下，不含氣體滲透
在常溫下，不含氣體滲透
1.3×10-10
初始供氣
內(nèi)部
外部
配件
閥門類型
流體
工作溫度（℃）
工作壓力（帕）
孔口直徑（毫米）
泄漏（帕·立方米/秒）
管道連接類型
SMC出氣閥，XVD2-02S系統(tǒng)參數(shù)